| 资料名称： | GB/T17169-1997 GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法 |
| 标准类别： |
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 授权形式： | 免费下载 | ||
| 标准状态： | 已作废◎ | ||
| 作废日期： | 2005-10-14◎ | ||
| 发布日期： | 1997-01-02◎ | ||
| 实施日期： | 1998-08-01◎ | ||
| 首发日期： | ◎ | ||
| 复审日期： | 2004-10-14◎ | ||
| 出版日期： | 2004-04-12◎ |
| 标准编号： | GB/T 17169-1997 | |
| 标准名称： | 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法 | |
| 英文名称： | Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection（仅供参考） | |
| 标准简介： | GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法 国家标准(GB) GB/T17169-1997 本标准规定了半导体硅抛光片和外延片表面常见缺陷的光反射无损检验方法。本标准适用于半导体硅抛光片和外延片表面质量的无损检验。本标准的检验结果与GB/T 6624、GB/T 14142的检验结果一致。 压缩包解压密码：www.51zbz.com | |
| 推荐链接： | 载入中 | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | （仅供参考） | |
| 发布部门： | 国家技术监督局（仅供参考） | |
| 提出单位： | （仅供参考） | |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 南开大学,天津市半导体材料厂（仅供参考） | |
| 起 草 人： | （仅供参考） | |
| 出 版 社： | 中国标准出版社（仅供参考） |
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| 页 数： | 平装16开， 页数：10， 字数：15千字（仅供参考） | |
| 书 号： | 155066.1-14930（仅供参考） | |
| 下载次数： | 2次 | |
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