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GB/T1554-1995 GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

标准编号:GB/T1554-1995 整理时间:1995-04-18 浏览次数:36
资料名称: GB/T1554-1995 GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
标准类别:
语  言: 简体中文
授权形式: 免费下载
标准状态:
作废日期:
发布日期: 1995-04-18◎
实施日期: 1995-12-01◎
首发日期: 1979-05-26◎
复审日期: 2004-10-14◎
出版日期: 1995-12-01◎
标准编号: GB/T 1554-1995
标准名称: 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
英文名称: Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques(仅供参考)
标准简介: GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 国家标准(GB) GB/T1554-1995 本标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。 压缩包解压密码:www.51zbz.com
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替代情况: GB 1554-1979 GB 4057-1983(仅供参考)
采标情况: =ASTM F47-88(仅供参考)
发布部门: 国家技术监督局(仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(仅供参考)
起草单位: 峨嵋半导体材料厂(仅供参考)
起 草 人: (仅供参考)
出 版 社:

中国标准出版社(仅供参考)

页  数: 平装16开, 页数:12, 字数:20千字(仅供参考)
书  号: (仅供参考)
下载次数: 24次
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