| 标准简介： |
GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 国家标准(GB) GB/T19922-2005 本标准规定了用电容位移传感法测定硅片表面局部平整度的方法。本标准适用于无接触、非破坏性地测量干燥、洁净的半导体硅片表面的局部平整度。适用于直径100mm及以上、厚度250μm及以上腐蚀、抛光及外延硅片。 压缩包解压密码：www.51zbz.com |
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载入中 |
| 替代情况： |
（仅供参考） |
| 采标情况： |
ASTM F1530-1994 MOD（仅供参考） |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国家标准化管理委员会（仅供参考） |
| 提出单位： |
中国有色金属工业协会（仅供参考） |
| 归口单位： |
信息产业部（电子）（仅供参考） |
| 主管部门： |
信息产业部（电子）（仅供参考） |
| 起草单位： |
洛阳单晶硅有限责任公司（仅供参考） |
| 起 草 人： |
史炯、蒋建国、陈兴邦、贺东江、王文、邓德翼（仅供参考） |
| 出 版 社： |
中国标准出版社（仅供参考） |
| 页 数： |
16开， 页数：9， 字数：14千字（仅供参考） |
| 书 号： |
155066.1-26922（仅供参考） |
| 下载次数： |
3次 |
| 下载地址： |
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