| 标准简介： |
GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法 国家标准(GB) GB/T19921-2005 本标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。本标准适用于硅抛光片，也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片(如化合物抛光片)。本标准也适用于观测硅抛光片表面的划痕、桔皮、凹坑、波纹等缺陷，但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能，并与检测时的初始设置有关。 压缩包解压密码：www.51zbz.com |
| 推荐链接： |
载入中 |
| 替代情况： |
（仅供参考） |
| 采标情况： |
SEMI M25-1995 NEQ SEMI M35-0299 NEQ SEMI M50-1101 NEQ ASTM F1620-1996 NEQ ASTM F1621-1996 NEQ（仅供参考） |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会（仅供参考） |
| 提出单位： |
中国有色金属工业协会（仅供参考） |
| 归口单位： |
全国有色金属标准化技术委员会（仅供参考） |
| 主管部门： |
中国有色金属工业协会（仅供参考） |
| 起草单位： |
北京有色金属研究总院（仅供参考） |
| 起 草 人： |
孙燕、卢立延、董慧燕、刘红艳、翟富义（仅供参考） |
| 出 版 社： |
中国标准出版社（仅供参考） |
| 页 数： |
16开， 页数：10， 字数：16千字（仅供参考） |
| 书 号： |
155066.1-26924（仅供参考） |
| 下载次数： |
3次 |
| 下载地址： |
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