| 资料名称： | GB/T17874-1999 GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼 |
| 标准类别： |
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 授权形式： | 免费下载 | ||
| 标准状态： | ◎ | ||
| 作废日期： | ◎ | ||
| 发布日期： | 1999-09-01◎ | ||
| 实施日期： | 2000-06-01◎ | ||
| 首发日期： | 1999-09-16◎ | ||
| 复审日期： | 2004-10-14◎ | ||
| 出版日期： | ◎ |
| 标准编号： | GB/T 17874-1999 | |
| 标准名称： | 电子工业用气体 三氯化硼 | |
| 英文名称： | Gases for electronic industry--Boron trichloride（仅供参考） | |
| 标准简介： | GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼 国家标准(GB) GB/T17874-1999 本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。 压缩包解压密码：www.51zbz.com | |
| 推荐链接： | 载入中 | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | （仅供参考） | |
| 发布部门： | 国家质量技术监督局（仅供参考） | |
| 提出单位： | （仅供参考） | |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 光明化工研究设计院（仅供参考） | |
| 起 草 人： | （仅供参考） | |
| 出 版 社： | 中国标准出版社（仅供参考） |
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| 页 数： | 平装16开， 页数：8， 字数：11千字（仅供参考） | |
| 书 号： | （仅供参考） | |
| 下载次数： | 1次 | |
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