| 资料名称： | GB/T15909-1995 GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4) |
| 标准类别： |
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 授权形式： | 免费下载 | ||
| 标准状态： | ◎ | ||
| 作废日期： | ◎ | ||
| 发布日期： | 1995-01-02◎ | ||
| 实施日期： | 1996-08-01◎ | ||
| 首发日期： | 1995-12-20◎ | ||
| 复审日期： | 2004-10-14◎ | ||
| 出版日期： | ◎ |
| 标准编号： | GB/T 15909-1995 | |
| 标准名称： | 电子工业用气体 硅烷(SiH4) | |
| 英文名称： | Gas for electronic industry－Silane（仅供参考） | |
| 标准简介： | GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4) 国家标准(GB) GB/T15909-1995 本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。 压缩包解压密码：www.51zbz.com | |
| 推荐链接： | 载入中 | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | ＝SEMI-93（仅供参考） | |
| 发布部门： | 国家技术监督局（仅供参考） | |
| 提出单位： | （仅供参考） | |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 化工部西南化工研究院（仅供参考） | |
| 起 草 人： | （仅供参考） | |
| 出 版 社： | 中国标准出版社（仅供参考） |
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| 页 数： | 平装16开， 页数：9， 字数：13千字（仅供参考） | |
| 书 号： | （仅供参考） | |
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