| 资料名称： | GB/T15871-1995 GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板 |
| 标准类别： |
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 授权形式： | 免费下载 | ||
| 标准状态： | ◎ | ||
| 作废日期： | ◎ | ||
| 发布日期： | 1995-01-02◎ | ||
| 实施日期： | 1996-08-01◎ | ||
| 首发日期： | 1995-12-22◎ | ||
| 复审日期： | 2004-10-14◎ | ||
| 出版日期： | 1996-08-01◎ |
| 标准编号： | GB/T 15871-1995 | |
| 标准名称： | 硬面光掩模基板 | |
| 英文名称： | Hard surface photomask substrates（仅供参考） | |
| 标准简介： | GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板 国家标准(GB) GB/T15871-1995 本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板。 压缩包解压密码：www.51zbz.com | |
| 推荐链接： | 载入中 | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | SEMI P1-1992,NEQ（仅供参考） | |
| 发布部门： | 国家技术监督局（仅供参考） | |
| 提出单位： | （仅供参考） | |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 长沙韶光微电子总公司（仅供参考） | |
| 起 草 人： | （仅供参考） | |
| 出 版 社： | 中国标准出版社（仅供参考） |
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| 页 数： | 平装16开， 页数：13， 字数：19千字（仅供参考） | |
| 书 号： | （仅供参考） | |
| 下载次数： | 1次 | |
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