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GB/T15870-1995 GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜

标准编号:GB/T15870-1995 整理时间:1995-01-02 浏览次数:14
资料名称: GB/T15870-1995 GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜
标准类别:
语  言: 简体中文
授权形式: 免费下载
标准状态:
作废日期:
发布日期: 1995-01-02◎
实施日期: 1996-08-01◎
首发日期: 1995-12-22◎
复审日期: 2004-10-14◎
出版日期: 1996-08-01◎
标准编号: GB/T 15870-1995
标准名称: 硬面光掩模用铬薄膜
英文名称: Chrome thin films for hard surface photomasks(仅供参考)
标准简介: GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜 国家标准(GB) GB/T15870-1995 本标准规定了硬面光掩模用铬薄膜的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用铬薄膜。 压缩包解压密码:www.51zbz.com
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替代情况: (仅供参考)
采标情况: SEMI P2-1986,NEQ(仅供参考)
发布部门: 国家技术监督局(仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(仅供参考)
起草单位: 长沙韶光微电子总公司(仅供参考)
起 草 人: (仅供参考)
出 版 社:

中国标准出版社(仅供参考)

页  数: 平装16开, 页数:8, 字数:10千字(仅供参考)
书  号: (仅供参考)
下载次数: 1次
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