| 资料名称： | GB/T17864-1999 GB/T 17864-1999 关键尺寸（CD）计量方法 |
| 标准类别： |
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 授权形式： | 免费下载 | ||
| 标准状态： | ◎ | ||
| 作废日期： | ◎ | ||
| 发布日期： | 1999-09-01◎ | ||
| 实施日期： | 2000-06-01◎ | ||
| 首发日期： | 1999-09-13◎ | ||
| 复审日期： | 2004-10-14◎ | ||
| 出版日期： | 2004-08-22◎ |
| 标准编号： | GB/T 17864-1999 | |
| 标准名称： | 关键尺寸（CD）计量方法 | |
| 英文名称： | CD Metrology procedures（仅供参考） | |
| 标准简介： | GB/T 17864-1999 关键尺寸（CD）计量方法 国家标准(GB) GB/T17864-1999 本标准的目的是规定计量系统进行光刻工艺中CD图形尺寸计量精确度的统一方法。本标准不涉及如何用这些计量系统去解决问题，也不涉及工艺中其他影响因素的变化，如大圆片的热处理、曝光机的聚集控制、以及材料等。 压缩包解压密码：www.51zbz.com | |
| 推荐链接： | 载入中 | |
| 替代情况： | GB/T 9043-1988（仅供参考） | |
| 采标情况： | idt SEMI P24:1994（仅供参考） | |
| 发布部门： | 国家质量技术监督局（仅供参考） | |
| 提出单位： | （仅供参考） | |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 中国科学院微电子中心（仅供参考） | |
| 起 草 人： | （仅供参考） | |
| 出 版 社： | 中国标准出版社（仅供参考） |
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| 页 数： | 平装16开， 页数：10， 字数：15千字（仅供参考） | |
| 书 号： | 155066.1-16386（仅供参考） | |
| 下载次数： | 2次 | |
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