资料名称: | GB/T11164-1999 GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件 |
标准类别: |
语 言: | 简体中文 | ||
授权形式: | 免费下载 | ||
标准状态: | ◎ | ||
作废日期: | ◎ | ||
发布日期: | 1999-04-08◎ | ||
实施日期: | 1999-09-01◎ | ||
首发日期: | 1989-03-31◎ | ||
复审日期: | 2004-10-14◎ | ||
出版日期: | 2004-04-09◎ |
标准编号: | GB/T 11164-1999 | |
标准名称: | 真空镀膜设备通用技术条件 | |
英文名称: | Vacuum coating plant generic specification(仅供参考) |
标准简介: | GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件 国家标准(GB) GB/T11164-1999 本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在10-1~10-3Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备。 压缩包解压密码:www.51zbz.com | |
推荐链接: | 载入中 | |
替代情况: | GB/T 11164-1989(仅供参考) | |
采标情况: | (仅供参考) | |
发布部门: | 国家质量技术监督局(仅供参考) | |
提出单位: | (仅供参考) | |
归口单位: | 全国真空技术标准化技术委员会(仅供参考) | |
主管部门: | 中国机械工业联合会(仅供参考) | |
起草单位: | 上海通用机械研究所(仅供参考) | |
起 草 人: | (仅供参考) | |
出 版 社: | 中国标准出版社(仅供参考) |
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页 数: | 平装16开, 页数:8, 字数:9千字(仅供参考) | |
书 号: | 155066.1-16228(仅供参考) | |
下载次数: | 9次 | |
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