| 资料名称： | JB/T5631-1991 JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉 能耗标准 |
| 标准类别： |
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 授权形式： | 免费下载 | ||
| 标准状态： | ◎ | ||
| 作废日期： | ◎ | ||
| 发布日期： | 1991-08-27◎ | ||
| 实施日期： | 1992-07-01◎ | ||
| 首发日期： | ◎ | ||
| 复审日期： | ◎ | ||
| 出版日期： | 1992-07-01◎ |
| 标准编号： | JB/T 5631-1991 | |
| 标准名称： | 半导体器件外延炉 能耗标准 | |
| 英文名称： | （仅供参考） | |
| 标准简介： | JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉 能耗标准 机械行业标准(JB) JB/T5631-1991 JB/T5631-1991 JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉 能耗标准 机械行业标准(JB) JB/T5631-1991 本标准规定了半导体器件外延炉（以下简称外延炉）能耗分等。本标准适用于电子工业企业外延炉。 压缩包解压密码：www.51zbz.com | |
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| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | （仅供参考） | |
| 发布部门： | 机械电子工业部（仅供参考） | |
| 提出单位： | 机械电子工业部生产司（仅供参考） | |
| 归口单位： | 机械电子工业部机械标准化研究所（仅供参考） | |
| 主管部门： | （仅供参考） | |
| 起草单位： | 国营北京七七四厂（仅供参考） | |
| 起 草 人： | 赵伟、郭瑞春（仅供参考） | |
| 出 版 社： | 机械工业出版社（仅供参考） |
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| 页 数： | 4页（仅供参考） | |
| 书 号： | （仅供参考） | |
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