| 资料名称： | YS/T23-1992 YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 |
| 标准类别： |
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 授权形式： | 免费下载 | ||
| 标准状态： | ◎ | ||
| 作废日期： | ◎ | ||
| 发布日期： | 1992-03-09◎ | ||
| 实施日期： | 1993-01-01◎ | ||
| 首发日期： | ◎ | ||
| 复审日期： | ◎ | ||
| 出版日期： | 1993-01-01◎ |
| 标准编号： | YS/T 23-1992 | |
| 标准名称： | 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 | |
| 英文名称： | （仅供参考） | |
| 标准简介： | YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 有色金属行业标准(YS) YS/T23-1992 本标 准 规 定了根据堆垛层错尺寸测量硅处延层厚度的方法本标 准 适 用于在<111>,tloo>和(110)晶向的硅单晶衬底仁生长的硅外延层厚度的测缝外延 层 中 应存在着发育完整的堆垛层错，其大小可用干涉相衬显微镜r:接观察(非破坏性的)，或经化学腐蚀后用金相显微镜观察(破坏性的)。测量范围为2^75 um. 压缩包解压密码：www.51zbz.com | |
| 推荐链接： | 载入中 | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | （仅供参考） | |
| 发布部门： | 中国有色金属工业总公司（仅供参考） | |
| 提出单位： | 中国有色金属工业总公司标准计量研究（仅供参考） | |
| 归口单位： | （仅供参考） | |
| 主管部门： | （仅供参考） | |
| 起草单位： | 上海市有色金属总公司半导体材料i（仅供参考） | |
| 起 草 人： | 吴耀芬、姚保纲、周康权（仅供参考） | |
| 出 版 社： | （仅供参考） |
|
| 页 数： | 3页（仅供参考） | |
| 书 号： | （仅供参考） | |
| 下载次数： | 0次 | |
| 下载地址： | 点此打开推荐最佳下载地址 | |