| 资料名称： | GB/T14139-1993 GB/T 14139-1993 硅外延片 |
| 标准类别： |
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 授权形式： | 免费下载 | ||
| 标准状态： | ◎ | ||
| 作废日期： | ◎ | ||
| 发布日期： | 1993-02-06◎ | ||
| 实施日期： | 1993-10-01◎ | ||
| 首发日期： | 1993-02-06◎ | ||
| 复审日期： | 2004-10-14◎ | ||
| 出版日期： | ◎ |
| 标准编号： | GB/T 14139-1993 | |
| 标准名称： | 硅外延片 | |
| 英文名称： | Silicon epitaxial wafers（仅供参考） | |
| 标准简介： | GB/T 14139-1993 硅外延片 国家标准(GB) GB/T14139-1993 本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层(N/N+)和在P型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P+)的同质硅外延片。产品用于制作半导体器件。 压缩包解压密码：www.51zbz.com | |
| 推荐链接： | 载入中 | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | SEMI S2,REF（仅供参考） | |
| 发布部门： | 国家技术监督局（仅供参考） | |
| 提出单位： | （仅供参考） | |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 上海第二冶炼厂（仅供参考） | |
| 起 草 人： | （仅供参考） | |
| 出 版 社： | 中国标准出版社（仅供参考） |
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| 页 数： | 平装16开， 页数：8， 字数：11千字（仅供参考） | |
| 书 号： | （仅供参考） | |
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