| 标准简介： |
GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片 国家标准(GB) GB/T12964-2003 本标准规定了硅单晶抛光片的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。 压缩包解压密码：www.51zbz.com |
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载入中 |
| 替代情况： |
GB/T 12964-1996（仅供参考） |
| 采标情况： |
SEMI M1-0997,NEQ（仅供参考） |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局（仅供参考） |
| 提出单位： |
（仅供参考） |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会（仅供参考） |
| 起草单位： |
洛阳单晶硅厂（仅供参考） |
| 起 草 人： |
（仅供参考） |
| 出 版 社： |
中国标准出版社（仅供参考） |
| 页 数： |
平装16开， 页数：11， 字数：17千字（仅供参考） |
| 书 号： |
155066.1-19868（仅供参考） |
| 下载次数： |
1次 |
| 下载地址： |
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