| 资料名称： | GB/T16596-1996 GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范 |
| 标准类别： |
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 授权形式： | 免费下载 | ||
| 标准状态： | ◎ | ||
| 作废日期： | ◎ | ||
| 发布日期： | 1996-01-01◎ | ||
| 实施日期： | 1997-04-01◎ | ||
| 首发日期： | 1996-11-04◎ | ||
| 复审日期： | 2004-10-14◎ | ||
| 出版日期： | 1997-04-01◎ |
| 标准编号： | GB/T 16596-1996 | |
| 标准名称： | 确定晶片坐标系规范 | |
| 英文名称： | Specification for establishing a wafer coordinate system（仅供参考） | |
| 标准简介： | GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范 国家标准(GB) GB/T16596-1996 本标准规定了利用晶片中心作为极坐标或直角坐标的原点，可用于确定晶片上任意一点位置的晶片坐标系。 压缩包解压密码：www.51zbz.com | |
| 推荐链接： | 载入中 | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | SEMI M20-92（仅供参考） | |
| 发布部门： | 国家技术监督局（仅供参考） | |
| 提出单位： | （仅供参考） | |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 中国有色金属工业总公司（仅供参考） | |
| 起 草 人： | （仅供参考） | |
| 出 版 社： | 中国标准出版社（仅供参考） |
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| 页 数： | 平装16开， 页数：6， 字数：6千字（仅供参考） | |
| 书 号： | 155066.1-13651（仅供参考） | |
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