资料名称: | GB/T15615-1995 GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法 |
标准类别: |
语 言: | 简体中文 | ||
授权形式: | 免费下载 | ||
标准状态: | 已作废◎ | ||
作废日期: | 2005-10-14◎ | ||
发布日期: | 1995-07-12◎ | ||
实施日期: | 1996-02-01◎ | ||
首发日期: | ◎ | ||
复审日期: | 2004-10-14◎ | ||
出版日期: | ◎ |
标准编号: | GB/T 15615-1995 | |
标准名称: | 硅片抗弯强度测试方法 | |
英文名称: | Test method for measuring flexure strength of silicon slices(仅供参考) |
标准简介: | GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法 国家标准(GB) GB/T15615-1995 本标准规定了硅单晶切割片、研磨片和抛光片的抗弯强度测试方法。本标准适用于晶向为〈111〉和〈100〉的直拉、悬浮区熔硅单晶片的常温下抗弯强度的测量。硅片厚度为250~900μm。 压缩包解压密码:www.51zbz.com | |
推荐链接: | 载入中 | |
替代情况: | (仅供参考) | |
采标情况: | (仅供参考) | |
发布部门: | 国家技术监督局(仅供参考) | |
提出单位: | (仅供参考) | |
归口单位: | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考) | |
主管部门: | 国家标准化管理委员会(仅供参考) | |
起草单位: | 中南工业大学(仅供参考) | |
起 草 人: | (仅供参考) | |
出 版 社: | (仅供参考) |
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页 数: | 平装16开, 页数:9, 字数:14千字(仅供参考) | |
书 号: | (仅供参考) | |
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