| 资料名称： | GB/T13388-1992 GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法 |
| 标准类别： |
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 授权形式： | 免费下载 | ||
| 标准状态： | ◎ | ||
| 作废日期： | ◎ | ||
| 发布日期： | 1992-02-19◎ | ||
| 实施日期： | 1992-10-01◎ | ||
| 首发日期： | 1992-02-19◎ | ||
| 复审日期： | 2004-10-14◎ | ||
| 出版日期： | ◎ |
| 标准编号： | GB/T 13388-1992 | |
| 标准名称： | 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法 | |
| 英文名称： | Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques（仅供参考） | |
| 标准简介： | GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法 国家标准(GB) GB/T13388-1992 本标准规定了用Ｘ射线技术测量硅片参考面结晶学取向的方法。本标准适用于硅片参考面结晶学取向与参考面规定取向之间角度偏差的测量。硅片直径为50～125mm，参考面长度为10～50mm。本标准不适用于硅片规定取向在与参考面和硅片表面相垂直的平面内的投影与硅片表面法线之间夹角不小于3°的硅片的测量。 压缩包解压密码：www.51zbz.com | |
| 推荐链接： | 载入中 | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | ＝ASTM F847（仅供参考） | |
| 发布部门： | 国家技术监督局（仅供参考） | |
| 提出单位： | （仅供参考） | |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 北京有色金属研究总院（仅供参考） | |
| 起 草 人： | （仅供参考） | |
| 出 版 社： | 中国标准出版社（仅供参考） |
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| 页 数： | 平装16开， 页数：6， 字数：7000（仅供参考） | |
| 书 号： | （仅供参考） | |
| 下载次数： | 1次 | |
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