资料名称: | GB/T20175-2006 GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法 |
标准类别: |
语 言: | 简体中文 | ||
授权形式: | 免费下载 | ||
标准状态: | ◎ | ||
作废日期: | ◎ | ||
发布日期: | 2006-03-27◎ | ||
实施日期: | 2006-11-01◎ | ||
首发日期: | 2006-03-27◎ | ||
复审日期: | ◎ | ||
出版日期: | 2006-11-01◎ |
标准编号: | GB/T 20175-2006 | |
标准名称: | 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法 | |
英文名称: | Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials(仅供参考) |
标准简介: | GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法 国家标准(GB) GB/T20175-2006 本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质,提供优化溅射深度剖析参数的指南。 压缩包解压密码:www.51zbz.com | |
推荐链接: | 载入中 | |
替代情况: | (仅供参考) | |
采标情况: | IDT ISO 14606:2000(仅供参考) | |
发布部门: | 国家标准化管理委员会(仅供参考) | |
提出单位: | (仅供参考) | |
归口单位: | 全国微束分析标准化技术委员会(仅供参考) | |
主管部门: | 国家标准化管理委员会(仅供参考) | |
起草单位: | 清华大学电子工程系(仅供参考) | |
起 草 人: | (仅供参考) | |
出 版 社: | 中国标准出版社(仅供参考) |
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页 数: | 平装16开 页数:19, 字数:30千字(仅供参考) | |
书 号: | (仅供参考) | |
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